第120章:干法蚀刻（1 / 2）

总算是给政府解释清楚了，不管他们到底相不相信，起码不会立马图穷匕现了，这是他最担心的。说实话在九几年的中国，最多的钱，也不能保证完全安全。政府还是专政机关，外资企业要好点，毕竟他们受自已国家的法律保护，一般的父母官不敢乱来。

从市委朱书记那里告辞，回到公司后，沈丹青吓得出了一身冷汗，幸亏他说服了朱书记，否则长胜投资集团就有可能止戈成沙了，这可不是开玩笑。当然啦！也幸亏这件事上了中央新闻，有可能被高层领导关注了。政府可能也有这方面的顾虑，总之这件事情算是过去了。

这件事情过后，长胜投资集团总算是过了一个坎。沈丹青也更加希望能快点将总公司搬去长沙，于是他更加频繁地向王全福了解长沙工业园的筹备情况。

王全福真是哭笑不得，才刚开始派人去，能有多大的进展，他们第一期选址都还没开始呢？因此他只好亲自上来，耐心地跟老板解释：“老板，他们还在考察地形，，总得做一个全局的规划，否则以后会顾此失彼。”

“好吧！是我心急了，你让他们仔细地规划吧！有了结果再告诉我。”沈丹青承认自己心急了，正所谓关心则乱，得好好冷静冷静了，他在心里对自已说。

“好的，老板。我有消息会第一时间告诉你的。如果没什么事，我就告辞了，公司还有一大摊子事等我处理呢！”王全福不敢说老板是乱弹琴，只是说自已很忙，言下之意就是告诉老板，不要下乱命令，耽误别人的正事。

“嗯！你回去吧！”沈丹青轻轻的挥了挥手，意兴珊阑的说道。

时间是一记很好的抚慰剂，任何坏事在它的冲刷下都会慢慢的失去威力，直至被人民淡忘。不知不觉又过了一个多月。在这段时间里，长胜投资集团旗下各企业集团和单位却都发展顺利。

首先是机械技术研究院和长胜精工，研制成功了芯片封装设备。这套设备与国外的同类设备有一点点不同，他不是采用什么传带式的流水线。而是釆用他们熟悉的轨道直线电机，上面安装自动机械臂的输送方式，等于是初级的智能机器人。自动机械臂上安装有真空吸盘，盛放硅晶圆的托盘就被牢固的吸附在吸盘上。整个输送过程，都不需要直接接触芯片，未封装的芯片是非常脆弱的，稍有不注意，就会造成机械损伤，甚至是报废。另外，他们这套设备效率非常高，是完全的自动化，不需要人工参与，因此能保证厂房里面的灰尘降到最低。整个厂房几乎是密封的，没有人员进入，灰尘当然就少了。

物理研究所的胡所长领导的离子注入机事业部，也传来了喜讯。他们终于研制出了正式的离子注入机设备。能给沈丹青报来喜讯，当然已经是非常成熟的设备了。他们还算是运气好，幸好物理研究所有现成的质量分析器和离子加速器，这两样科研设备。否则如果让他们从新研究，就不知道要研究到什么时候了。他们也算是踩在巨人的臂膀上成功的。

到了此时，就只剩自动检测程序没有完成了。沈丹青特意找卢汝成了解了一下，得知他们的任务非常困难，非短时间所能解决。于是他做出了一个决定，让这套芯片生产设备开始试制芯片，有什么问题尽量在生产中发现。用财力促进加速芯片技术的发展。前期的问题肯定很多，这些都是自动检测程序的宝贵的资料。

没有自动检测程序，需要人工检测，芯片生产速度当然非常慢。就像木桶理论所说的一样，整个生产速度只能以人工检测的速度为基准了。不过沈丹青不会在意，对长胜投资集团来说，能用钱解决的问题都不是问题。

用纳米级芯片制造设备来制造十六位元芯片，难度当然很低了，初次制造，合格率就非常高，达到了53%，不合格的芯片，不是工艺问题，而是化学蚀刻的原因。他们研究的这套化学蚀刻设备太过简单了，还缺少许多先进技术。他们釆用的是原始的自然蚀刻技术，因此造成的蚀边非常明显。化学蚀刻就是用化学药剂，溶解没有光刻胶保护的硅晶圆或铜互联层。如果任由它自然蚀刻，就会造成蚀边。也就是腐蚀了不需要蚀刻的晶体管和铜联接线的边。他们因为是第一次研制化学蚀刻设备，没有经验，以为只是一个纯粹的化学反应。造出来的蚀刻设备是最原始的设备，以前4位元芯片的时候，人们就是使用这种技术。到如今当然已经不适用了。